■ 主要應用

①薄化硅片Thin Wafer_4,6,8,12 inch。翹曲硅片Warp Wafer。

②PVD, CVD, Plasma ETCHER, ION Beam Trimming (IBT)。

③3D IC Fabric Package。MCM, MCP, WLP, WoW, CoW, CoWoS, SoIC先進封裝。

④超薄平板玻璃。

⑤Micro-LED。

⑥金屬薄片銅箔Copper Foil。​

⑦軟性薄膜。

⑧曲面玻璃。

⑨真空貼合。

⑩形狀補強 (Eg, 4"_Wafer on 6"_E-Chuck)。 

專利庫倫力型靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。

先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Mobile E-Chuck Carrier Supporter。無線吸盤 Mobile E-Chuck Carrier Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做傳輸載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。

​專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性，可為許多輕薄軟易碎物件、真空環境中的工程問題，提供最佳解決方案。 

■ 無線薄化硅片載具靜電吸盤 Thin Wafer 

​Mobile E-Chuck Carrier Supporter 4,6,8,12-inch

1. 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。

2. 吸附完成後，可以在無電源接觸的狀況下，保有原本的吸附狀態。

3. 需要接上控制器設定，以切換吸附狀態。

4. 最高操作溫度：200度C。

5. 適合輕薄軟易碎物件的載具。(例如：厚度薄化易碎之硅片，硅片傳輸，薄型玻璃，4"wafer -on- 8"E-Chuck。) 

■產品項目

❶ 微晶片吸附 Micro Die Handling 100μｍ×200μｍ E-Chuck

❷ 薄化硅片載具吸盤 Thin Wafer, Mobile E-Chuck Carrier Supporter_4,6,8,12-inch

    ▲半自動Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch

    ▲全自動Mobile E-Chuck Carrier 硅片吸附解離機_4,6,8,12 inch

❸ ​機器手臂吸盤 (Wired) Thin Wafer Robot Holder

​❹ 電池電源無線吸盤 (Cordless) Battery Power Holder

❺ 手持式吸盤 Thin Wafer Plam Holder

❻ 金屬薄片吸盤 Thin Foil Holder

❼ 2D曲面吸盤 3D Curved Holder

❽ 3D曲面吸盤 2D Curved Holder​

❾ 真空AOI檢驗吸盤 AOI Black Holder

❿ 大尺寸拼接吸盤 Stitching Holder

⓫ 其他客制吸盤 Customized E-Chucks

■ 產品影片